Системы анализа для электронных микроскопов

QUANTAX EDS – СИСТЕМА ЭНЕРГОДИСПЕРСИОННОГО МИКРОАНАЛИЗА

• Адаптирована под все типы и марки электронных микроскопов.
• Широкая линейка SDD-детекторов XFlash площадью 10, 30, 60 и 100 мм2.
• Специальные модели SDD-детектора: XFlash 6T для просвечивающих микроскопов и плоский детектор XFlash 5060F, размещающийся непосредственно под электронным пучком.
• Самая высокая на рынке скорость счета SDD-детектора: входная – более 1 500 000 имп/с, выход- ная – более 600 000 имп/с для быстрого и точного элементного анализа.
• Лучшее энергетическое разрешение — 121 эВ на линии Mn K? при скорости счета 100 000 имп/с.
• Наименьшее расстояние образец — детектор для большего телесного угла благодаря технологии Slim-line.
• Компактная и легкая конструкция SDD-детектора (масса менее 3,75 кг) снижает нагрузку на колонну микроскопа.
• Высокоточное позиционирование SDD-детектора с регулируемым наклоном внутри камеры микроскопа благодаря полностью моторизованному приводу.
• Возможность проводить расчет содержаний с помощью комбинации эталонного и безэталон- ного способа анализа.

QUANTAX MICRO-XRF – СИСТЕМА МИКРОРЕНТГЕНОФЛУОРЕСЦЕНТНОГО АНАЛИЗА

• Сочетание микрофокусной рентгеновской трубки с поликапиллярной рентгеновской оптикой и системой регистрации рентгенофлуоресцентного спектра QUANTAX EDS позволяет создать на базе сканирующего электронного микроскопа полноценный микрорентгенофлуоресцент- ный спектрометр.
• Чувствительность микрорентгенофлуоресцентного метода в сравнении с электронным ис- точником возбуждения в 20–50 раз лучше в области средних и тяжелых химических элементов с пределом обнаружения до 10 ppm.
• Программа ESPRIT позволяет провести вычисление концентраций, полученных с помощью электронного микроскопа и QUANTAX Micro-XRF, в одном интерфейсе для уточнения оконча- тельного результата.

QUANTAX EBSD – СИСТЕМА ДИФРАКЦИИ ОБРАТНО РАССЕЯННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ

• Быстрое картирование и получение результатов одновременно по элементному составу с по- мощью EDS и кристаллической структуре и текстуре с помощью EBSD с быстродействием до 930 точек/с.
• Серия детекторов дифракции обратно рассеянных электронов e-Flash EBSD с вертикальным позиционированием для получения наилучшего EBSD-сигнала.
• Скорость картирования ориентации кристаллитов – 630 точек/с (сортировка 4 x 4) или 930 точек/с (сортировка 8 x 8) с помощью детектора e-Flash1000.
• Сбор карт с высоким разрешением с помощью e-FlashHR, предоставляющего снимки образцов с разрешением до 1600 x 1200 точек. Скорость сбора 140 точек/с (сортировка 10 x 10) и 170 то- чек/с (сортировка 20 x 20). Также поддерживаются измерения при низком ускоряющем напряжении (до 5 кВ) и низких токах пучка (до 0,1 нА).
• Направляющее устройство с точностью позиционирования на люминесцентном экране <10 мкм.
• Уникальная функция автоматического отвода детектора после завершения измерения.

QUANTAX WDS – СИСТЕМА ВОЛНОДИСПЕРСИОННОГО МИКРОАНАЛИЗА

• Современная волнодисперсионная оптическая система с автоматической настройкой и юсти- ровкой.
• Конструкция по принципу «параллельного пучка» с коллимирующей оптикой скользящего па- дения, позволяющая получить наилучшее энергетическое разрешение в длинноволновой об- ласти энергий.
• Энергетическое разрешение 4,6 эВ на линии Si K?, что примерно на порядок лучше в сравне- нии с EDS-системой.
• Диапазон измеряемых спектрометром энергий — от 100 эВ до 3600 эВ.
• Выбор из 6 кристаллов-анализаторов для оптимального решения задачи: многослойные 200 ? (Be, B), 80 ? (C, N), 60 ? (400 – 950 эВ), 30 ? (500 – 2000 эВ), TAP (500 эВ – Si K?) и PET (Si K? – 3600 эВ).
• Измерение в каждой точке на образце и расчет содержаний возможны с помощью и EDS-, и WDS-метода в одном окне программы ESPRIT.